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QSG3透 明 石 英 玻 璃 坩 埚 JC 226—81
本 标 准 适 用 于 半 导 体 工 业 拉 制 单 晶 用 的 高 纯 透 明 石 英 玻 璃 坩 埚 。本 坩 埚 采 用 天 然 石 英 熔 制 成 坯 体 , 并 在 其 内 表 面 涂 一 层 高 纯 人 造 石 英 玻 璃 层 。
一 、 技 术 要 求
1、 物 理 、 化 学 性 能 指 标
1)化 学 成 分
a、 内 涂 层 化 学 成 分铝 、 钙 、 镁 、 钛 、 铜 、 铁 、 钴 、 镍 、 锰 、 硼 、 钾 、 钠 、 锂 、 十 三 个 杂 质 元 素 的 总 含 量 不 得 大 于 .001%
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